泵浦組件
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本系列為多段羅茨干式真空泵浦,泵浦內(nèi)部是由一對多段式轉(zhuǎn)子組成的,逐級壓縮被 抽氣體,從而提高能源的有效利用率,減少損耗;同時因轉(zhuǎn)子為三葉轉(zhuǎn)子使之旋轉(zhuǎn)一周實現(xiàn)三次排氣,從而提高了排氣的穩(wěn)定性,降低排氣噪音。
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轉(zhuǎn)子由一對齒輪帶動同步運轉(zhuǎn);齒輪、軸承以氟化油作為潤滑劑,并通過唇形密封與 腔體分隔在一個單獨的區(qū)域,故能使腔體保持在無油的工作狀態(tài)。
冷卻水
排氣端
控制系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)

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